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摘要:干涉仪是一种基于干涉原理的精密测量设备,广泛应用于多个领域。其主要用途包括测量光学元件的表面形状、光学干涉检测、光学元件的精度加工等。干涉仪的原理基于光的干涉现象,通过比较参考波和测量波之间的相位差来测量光学元...